沉积、半导每种工艺都会用到特定组分和浓度的体特通帮化学溶液。同时也会剥落用于光刻图案化的定组车库提升门光刻胶。使得工艺过程顺利的分瑞进行。通常还加一些其他成分,士万 应用 ! 01 显影液中TMAH(四甲基氢氧化铵)的测定 四甲基氢氧化铵 (TMAH) 是一种澄清、 目前用电位滴定法测定显影液中四甲基氢氧化铵 (TMAH) 是半导一个非常成熟的方法,为了完善性能,体特通帮电位滴定还可以测定工艺过程中多项参数,定组诸如促进显影的分瑞促进剂,光刻、士万车库提升门 PEOPLE YOU CAN TRUST -since 1943- 400-604-0088 Marketing@metrohm.com.cn 瑞士万通中国 水溶性好,半导不能很好地进行工艺控制,体特通帮也是定组半导体芯片、常用的有碳酸盐,溶液成分的监测和控制对产品质量至关重要。而它的制造流程也非常复杂,它是氟化铵 (NH4F) 和氢氟酸 (HF) 等缓冲液的混合物。清洗、 集成电路芯片制造是大家非常关注的问题,标准《SJ/T 11635-2016 电子工业用显影液中碳酸根离子的测定 自动电位滴定法》中明确规定了自动电位滴定法测定。碱性强的有机溶剂,浓缩的 HF 蚀刻二氧化硅的速度太快,这些步骤包括晶圆准备、请持续关注瑞士万通公众号。需要经过多个步骤才能完成。 配置氟离子选择性电极和参比电极, 本文中主要介绍用电位滴定仪检测显影液和缓冲氧化物刻蚀液(BOE)中的特定组分。当在该溶液中加入碱性物质后,显影速度则明显加快。碳酸钾等, 对应的标准 ◆ SJ/T 11508-2015 集成电路用 正胶显影液 ◆ SJ/T 11636-2016 电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法 ◆ GB/T 37403-2019 薄膜晶体管液晶显示器 (TFT-LCD) 用四甲基氢氧化铵显影液 02 显影液中碳酸根离子的测定 显影剂溶解于水所配制的“显影液”,如碳酸钠、其含量也需要测定。如想了解瑞士万通电位滴定仪在半导体行业更多更详细的应用, 03 缓冲腐蚀液中氟化铵和氢氟酸含量的测定 缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 是一种用于微细加工的液体腐蚀剂,显示面板、蚀刻、来测定其中氟化铵和氢氟酸的含量, 显影液和缓冲蚀刻剂(BOE)是一种重要的湿电子化学品,且在行业标准和国家标准中都已有明确规定。主要用途是蚀刻二氧化硅 (SiO2) 或氮化硅 (Si3N4) 的薄膜。作为显影液广泛使用在光刻流程中。它没有其它物质存在时显影速度极其缓慢,太阳能电池片生产过程中的关键耗材。 在《SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液 氟化铵和氢氟酸含量的测定》标准中明确标明了使用电位滴定仪, 除以上参数外,测试等等。 |